半導(dǎo)體后端工藝制程中需要使用到例如 Ar, O2 或是其他特殊氣體, 氣體管路系統(tǒng) ( 真空管路 ) 的作用是把各種氣體在滿足工藝制程要求的純度, 壓力和流量的前提下安全穩(wěn)定的供應(yīng)到工藝設(shè)備內(nèi). 上海伯東美國(guó) HVA 插板閥廣泛用于高真空或超高真空的氣體輸送環(huán)節(jié), 用來改變氣流方向, 調(diào)節(jié)氣流量大小, 切斷或接通管路, 起到真空隔離密封等作用. 美國(guó) HVA 6寸, 8寸 真空插板閥已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體氣體管路中!
半導(dǎo)體管道插板閥應(yīng)用示意圖 現(xiàn)場(chǎng)圖
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上海伯東是美國(guó) HVA 插板閥在中國(guó)地區(qū)唯一指定總代理商.
上海伯東美國(guó) HVA 插板閥優(yōu)勢(shì)
1. 滿足高真空（1E10-9 mabr）和超高真空（1E10-10 mbar）應(yīng)用
2. HVA 插板閥口徑 DN 16 至 800 mm
3. 堅(jiān)固耐用, 超長(zhǎng)使用壽命, 可達(dá) 1,000,000 啟動(dòng)次數(shù)
4. 清潔和高密封性保證 HVA 插板閥與前級(jí)泵, 渦輪分子泵等完美聯(lián)用
5. 雙向密封,最小漏率 < 2x10-9 mbar l/S
6. 可選擇驅(qū)動(dòng)方式多, 手, 氣,電動(dòng)可選
7. 有效保護(hù)分子泵. 氣動(dòng)和電動(dòng)插板閥均帶信號(hào)反饋裝置, 與分子泵和腔體連用時(shí)可以起到截?cái)嘁恍┨厥鈿怏w, 保護(hù)分子泵的作用
8. 標(biāo)準(zhǔn)或定制法蘭滿足不同應(yīng)用
9. 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn), 插板閥整機(jī)美國(guó)設(shè)計(jì), 制造, 組裝, 原裝進(jìn)口
美國(guó) HVA 超過 40年的閥門研發(fā)生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn), 與友廠對(duì)比, HVA 插板閥閥體和部件均是在真空爐中一體釬焊完成, 消除了虛漏的可能.
美國(guó) HVA 插板閥主要型號(hào)
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